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多选题 广西省 企事业内部-IT

在集成电路制造中,薄膜生长工艺可以使用下列哪些方法实现?

A、化学气相沉积(CVD)

B、物理气相沉积(PVD)

C、原子层沉积(ALD)

D、湿法蚀刻

E、干法蚀刻

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